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型號(hào)
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YXCL200
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行程(mm)
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200*200*100mm
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外形尺寸(mm)
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1600*600*1550mm
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儀器重量(kg)
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75kg
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機(jī)臺(tái)承重(kg)
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3kg
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機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)
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平臺(tái)復(fù)合移動(dòng)式，鋼架結(jié)構(gòu)，樣品不動(dòng)，機(jī)器三軸運(yùn)動(dòng)
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速度(mm/S)
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XY軸: Max移動(dòng)速度300，Max加速度1000 Z軸: Max移動(dòng)速度100，Max加速度400
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精度(μm)
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Eux,mpe Euy mpe：1.9 + L/200 μm
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Euz,mpe：2.0 + L/250 μm
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Euxy,mpe：3.0 + L/200 μm
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光柵尺
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0.1μm高精度金屬光柵
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電機(jī)
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X/Y軸有鐵芯高速直線電機(jī)； Z1、Z2軸高性能高精度伺服電機(jī)
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運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)
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自主開(kāi)發(fā)超高脈沖直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)
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CCD相機(jī)
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CCD1：大于等于2500萬(wàn)像素，1.1英寸測(cè)量專用彩色CCD，搭配定倍雙遠(yuǎn)心高清鏡頭
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鏡頭
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鏡頭1：定倍雙遠(yuǎn)心高清鏡頭0.27X，視野47*35mm
a. 分辨率高：分辨率1.0μm,支持1英寸高分辨率相機(jī)
b. 重復(fù)精度高，單視野尺寸測(cè)量：重復(fù)性小于0.5μm，精度小于1μm
c. 高速采集測(cè)量，支持不停機(jī)飛拍測(cè)量
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光源
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a. 輪廓光：高亮白色平行遠(yuǎn)心冷光源；
b. 表面光：四環(huán)四路四色冷光源。
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光譜共焦位移
傳感器
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a. 非接觸式光學(xué)共焦測(cè)量技術(shù)，穩(wěn)定量測(cè)各類材質(zhì)，例如金屬/陶瓷/鏡面/玻璃等，小型輕量，工作距離適配變倍鏡頭，量程大；
b. 支持點(diǎn)光譜取點(diǎn)及三軸掃描，可取單點(diǎn)及掃描取點(diǎn)測(cè)量高度/段差/厚度/平面度/輪廓度等測(cè)量等，并可支持3軸聯(lián)動(dòng)式不停機(jī)點(diǎn)云掃描；
c. 點(diǎn)光譜測(cè)量傳感器：工作距離：33mm；測(cè)量范圍：0.28 ~ 8mm；測(cè)量角度：±18°；測(cè)量精度小于0.5μm。
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計(jì)算機(jī)
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Intel Core i7以上工控機(jī)（ 酷睿四核CPU），16G RAM、500 GB HD 27" 彩色超窄邊框IPS 分辨率：1920×1080，Windows 10 （實(shí)際配置以出廠為準(zhǔn)，不低于以上配置）
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環(huán)境要求
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電源：220V 50/60Hz(3kw) 氣源：0.6MP；20L/min
溫度：20°C±2°C 1°C/1h 2°C/24h 1°C/m 濕度：40% ~ 80%
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